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| 研究開発用品/テフロン測定機器 |
| テフロンケミカルレギュレーター |
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| 特長 |
■純水・薬液用の小型減圧制御弁です。 |
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■1/2サイズは高温・高圧仕様で対応しています。 |
| 仕様 |
接液部材質：PTFE、PFA |
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| 型式 |
TCR2-2U・TCR3-3U |
TCR4-4U-HTP |
| 接液部材質 |
PTFE、PFA |
| 液体 |
液体（純水・薬液） |
| 流体温度 |
10〜70℃ |
15〜90℃ |
| 環境温度 |
10〜60℃ |
| 1次側圧力範囲 |
100〜400kpa |
600kpa |
| 耐圧 |
500kpa |
800kpa |
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| 型式 |
流量範囲（清水） |
チューブサイズ |
2次側圧力設定範囲 |
販売価格 |
| TCR2-2U |
10〜1000ml/min |
1/4(6.35×3.95) |
50〜200kpa |
52,000円 |
| TCR3-3U |
1〜5Lmin |
3/8(9.53×6.35) |
50〜300kpa |
54,200円 |
| TCR4-4U-HTP |
5〜15L/min |
1/2(12.7×9.53) |
50〜300kpa |
99,800円 |
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| PFA、PTFEリリーフバルブ |
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| 特長 |
■リリーフ圧力はツマミで簡単に調整できます。 |
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■接液部にフッ素樹脂を使用し耐薬品性に優れています。 |
| 仕様 |
接液部材質：PTFE、PFA、パーフロOリング |
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接続部はPFAのチューブ出しです。 |
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| 型式 |
TRB-3/8 |
TRB-1/2 |
| 接液部材質 |
PTFE、PFA |
| 液体 |
液体（純水・薬液） |
| 流体温度 |
10〜70℃ |
15〜90℃ |
| 適用チューブサイズ |
φ9.53×6.35 |
φ12.7×9.53 |
| 環境温度 |
5〜70℃ |
| 環境温度 |
5〜60℃ |
| リリーフ圧調整範囲 |
50〜400kpa |
| 耐圧 |
600kpa |
| 販売価格 |
52,000円 |
55,000円 |
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| PTFE圧力計 |
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| 特長 |
■接液部にフッ素樹脂を使用しているため耐薬品性に優れています。 |
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■フッ酸、強酸、強アルカリにも使用できます。 |
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■外部ケースは全て樹脂製です。 |
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■ガス透過対策は特殊二重構造になっていますので耐腐食性があります。 |
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■接液部は禁油、禁水処理にて製作されています。 |
| 仕様 |
接液部材質：PTFE、PFA 目盛版：φ50 |
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| 型式 |
TPG-05-1/4 |
TPG-05-1/2 |
TPG-05-R3 |
TPG-03-1/4 |
TPG-03-1/2 |
TPG-03-R3 |
ブラケット |
| 接続タイプ |
1/4チューブ出し |
1/2チューブ出し |
R3/8 |
1/4チューブ出し |
1/2チューブ出し |
R3/8 |
− |
| 使用流体 |
純水・薬液・ガス |
− |
| 圧力レンジ |
0〜0.5Mpa |
0〜0.3Mpa |
− |
| 精度 |
±2%F.S |
− |
| 流体温度範囲 |
10〜50℃ |
− |
| 環境温度範囲 |
10〜40℃ |
− |
| 接液部材質 |
PTFE、PFA、カルレッツOリング |
− |
| 販売価格 |
63,000円 |
63,000円 |
63,000円 |
63,000円 |
63,000円 |
63,000円 |
7,000円 |
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| テフロン圧力計&真空計 |
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| 特長 |
■接液部にフッ素樹脂を使用しているため耐薬品性に優れています。 |
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■ベローズタイプで使用流体を汚染することがありません。 |
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■外部構成品はPTFEとポリプロピレンを使用しています。 |
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■接液部は禁油、禁水処理にて製作されています。 |
| 仕様 |
接液部材質：PTFE ケース：PP 窓：PET 目盛版：φ50 |
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| 型式 |
圧力計目盛(Mpa) |
接続口 |
販売価格 |
| TPG-1M |
0〜0.1 |
R3/8オス |
66,000円 |
| TPG-2M |
0〜0.2 |
66,000円 |
| TPG-4M |
0〜0.4 |
66,000円 |
| TPG-6M |
0〜0.6 |
66,000円 |
| TPG-10M |
0〜1.0 |
66,000円 |
| TVG-1M |
0〜-0.1 |
73,000円 |
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| テフロン薬液用プレッシャーセンサー(ガス透過対策品) |
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| 特長 |
■高耐食ストレート型圧力センサー。 |
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■表示モニター、圧力センサー、圧力スイッチ機能を一体構造。 |
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■押ボタン機能のゼロ調整機能を採用しメンテナンス性が容易になりました。 |
| 用途 |
■圧力スイッチ、薬液ラインの圧力モニタ、ガス圧力制御、プロセス制御 |
| 仕様 |
接液部材質：PTFE、PFA 適用媒体：液体・気体 接続サイズ：1/2チューブ出しナット |
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| 適用媒体 |
定格圧力 |
圧力種類 |
環境温度 |
流体温度 |
ヒステリシス |
温度ドリフト |
定格出力 |
電源 |
ケーブル長 |
| 液体・気体 |
0〜500kpa |
ゲージ圧 |
15〜50℃ |
15〜80℃ |
±1%F.S |
±0.05%F.S |
DC4〜20mA |
DC12〜DC24V |
2m |
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| 型式 |
接続サイズ |
モニター |
販売価格 |
| TPSD-1/2TB |
1/2チューブ出しナット |
有り |
100,000円 |
| TPSX-1/2TB |
1/2チューブ出しナット |
なし |
75,000円 |
| TPSX-R1/2 |
R1/2 |
なし |
89,000円 |
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| 接続継手は日本ピラー工業社製スーパー300タイプPシリーズとなります。（1/2チューブ用継手） |
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| テフロンプレッシャーセンサー |
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| 特長 |
■接液部にフッ素樹脂を使用しているため耐薬品性に優れています。 |
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■アンプが内蔵されており定格圧力を電気信号にて出力します。 |
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■可動部がありませんので耐振動性、耐衝撃性に優れています。 |
| 用途 |
■圧力スイッチ、薬液ラインの圧力モニタ、ガス圧力制御、プロセス制御 |
| 仕様 |
接液部材質：PTFE、PFA ガス透過性の強い液体、流体には使用できません。 |
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| 適用媒体 |
定格圧力 |
圧力種類 |
環境温度 |
流体温度 |
ヒステリシス |
温度ドリフト |
定格出力 |
電源 |
ケーブル長 |
| 液体・気体 |
0〜500kpa |
ゲージ圧 |
15〜50℃ |
15〜80℃ |
±1%F.S |
±0.08%F.S |
DC4〜20mA |
DC24V |
2m |
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| 型式 |
接続 |
販売価格 |
| TPS-R3 |
R3/8 |
56,000円 |
| TPS-R4 |
R1/2 |
56,000円 |
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| デジタルプレッシャーモニター |
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| 特長 |
■パネル取り付け用（22.2×45角）です。 |
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| 型式 |
電源 |
表示レンジ |
入力 |
上下限出力 |
アナログ出力 |
販売価格 |
| DV-2000 |
DC24V |
0〜500kpa |
DC4〜20mA |
リレー接点AC220V/DC30V、1A（抵抗負荷） |
DC4〜20mA |
47,000円 |
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| PFA微小流量センサ |
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特長 |
■0.01ml単位での測定ができます。高価な薬液の適量管理に最適。 |
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■コリオリ式なので液中の気泡やマイクロバブルなどの影響は受けません。 |
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■PFAを腐食しない液体に使用できます。 |
| 用途 |
■洗浄薬液の流量管理、フォトレジストの滴下管理、CMPスラリーの流量管理。 |
| 仕様 |
使用圧力範囲：0.6〜1.0Mpa 耐圧力：0.9〜1.5Mpa 使用流体温度：10〜60℃ 電源電圧：DC24V |
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使用可能流体：水・油・非腐食性液体 表示分解能：0.1ml/min〜 接液部：PFA ケース：PEI |
| FD-SF1 |
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FD-SF8 |
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オプション：L字取付金具、防振取付金具 |
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| 型式 |
タイプ |
接続口径 |
定格流量範囲 |
表示流量範囲 |
設定最小単位 |
標準価格 |
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超微少流量
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FD-SF1 |
モニタ・センサ分離型 |
4×3mmチューブ |
0〜1000ml/min |
0〜2000ml/min |
0.1ml/min |
都度見積 |
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微少流量
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FD-SF8 |
9.35×6.35チューブ |
0〜8L/min |
0〜16L/min |
0.01L/min |
都度見積 |
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分離表示ユニット
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| タイプ |
型式 |
形状 |
出力形態 |
親/子 |
DINレール
取付タイプ |
FD-SA1NA |
 |
NPN |
親機 |
| FD-SA1PA |
PNP |
| FD-SA2NA |
NPN |
子機※ |
| FD-SA2PA |
PNP |
パネル
取付タイプ |
FD-SA5NA |
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NPN |
− |
| FD-SA5PA |
PNP |
− |
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| PFAフローメーター(表示付タイプ) |
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| 特長 |
■超音波センサーによりカルマン渦を検出する方式のためフリッパー等の可動部がなく非常にクリーンでシンプルな構造です。 |
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■接液部がPFAであるため腐食性の高い液体などの測定も可能です。 |
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■軽量コンパクトであり、直接配管に取り付けられます。 |
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| 型 式 |
ESF-10 |
ESF-15 |
ESF-20 |
| 液 体 |
フッ素樹脂を腐食、透過しない液体 |
| 流量範囲 |
0.5〜3.5L/min |
1〜16L/min |
1〜40L/min |
| 流量表示 |
0.0〜4.0L/min |
0.0〜18.0L/min |
0.0〜44.0L/min |
| 測定精度 |
±5% F.S（at 25℃） |
±2.5% F.S（at 25℃） |
±1.5% F.S（at
25℃） |
| 環境温度 |
5〜60℃ |
5〜60℃ |
5〜60℃ |
| 液体温度 |
5〜85℃ |
5〜85℃ |
5〜85℃ |
| 液体圧力 |
Max.800kPa (25℃) |
Max.600kPa (25℃) |
| 接続サイズ |
φ9.53×φ6.35 |
φ12.7×φ9.53 |
φ19×φ16 |
| 接液部材質 |
PFA |
| 設置方向 |
水平・垂直・斜め |
| アナログ出力 |
出 力 |
DC4〜20mA |
| 負荷抵抗 |
500Ω以下 |
| パルス出力 |
出 力 |
NPNオープンコレクタ |
| 印加電圧/電流 |
Max.DC30V/80mA |
| パルス単位 |
10mL/P |
| パルス幅 |
5mS |
| 上下限設定出力 |
出 力 |
NPNオープンコレクタ |
| 印加電圧/電流 |
Max.DC30V/80mA |
| LED表示 |
下限設定以下LO表示消灯
上下限範囲内HI･LO表示点灯
上限設定以上HI表示消灯 |
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| 電源 |
DC24±10% |
| 消費電流 |
120mA以下 |
| ケーブル |
2m |
| CEマーキング適合品 |
○ |
○ |
○ |
| 販売価格 |
63,000円 |
63,000円 |
71,000円 |
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| PFAフローメーター(表示器分離タイプ) |
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| 特長 |
■表示器がなく軽量、コンパクトであり狭い間隔の並列配管が可能であり装置設計に適しています。 |
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| 型 式 |
ESL-10 |
ESL-15 |
| 液 体 |
フッ素樹脂を腐食、透過しない液体 |
| 流量範囲 |
0.5〜3.5L/min |
2.5〜16L/min |
| 測定精度 |
±2% F.S |
| 環境温度 |
5〜60℃ |
| 液体温度 |
5〜85℃ |
| 液体圧力 |
Max.800kPa (25℃) |
| 接続サイズ |
φ9.53×φ6.35 |
φ12.7×φ9.53 |
| 接液部材質 |
PFA |
| 設置方向 |
水平・垂直・斜め |
| アナログ出力 |
出 力 |
DC4〜20mA |
| 負荷抵抗 |
500Ω以下 |
| パルス出力 |
出 力 |
NPNオープンコレクタ |
| 印加電圧/電流 |
Max.DC30V/80mA |
| パルス単位 |
10mL/P |
| パルス幅 |
5mS |
| 電源 |
DC24±10% |
| 消費電流 |
110mA以下 |
| ケーブル |
2m |
| CEマーキング適合品 |
○ |
○ |
| 販売価格 |
42,000円 |
44,000円 |
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| デジタルフローメーター |
 |
| 特長 |
■DIN48×24サイズのパネル取り付けタイプです。 |
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■前面操作部：防塵防水規格IP66対応。 |
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| 型 式 |
DV-4100 |
DV-4150 |
|
0〜3.5L/min |
0〜16L/min |
| 電 源 |
DC24±10%、消費電流80 mA
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| 入 力 |
DC4〜20 mA |
| 上下限接点出力 |
上限・下限 2点任意設定 |
| リレー接点 AC220V/DC30V、1A（抵抗負荷） |
| アナログ出力 |
DC4〜20mA、0（-100）〜定格出力に対応 |
| 許容負荷抵抗 100〜500Ω |
| 精 度 |
±0.3％F.S（周囲温度23℃にて） |
| 使用および保存温度 |
-10℃〜50℃、90％RH以下（結露しないこと）
-10℃〜45℃（密着取り付け時）
-20℃〜60℃（保存温度） |
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| 販売価格 |
47,000円 |
47,000円 |
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