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メカトロニクス/ロータリー真空ポンプ・ドライ真空ポンプ・油回転真空ポンプ
ロータリー真空ポンプ
特長 ■回転部への徹底したバランス設計により低運転音・低振動を実現。
■自己潤滑性・耐摩耗性に優れたスーパーエンプラ及び特殊表面処理の採用により優れた耐久性。
■特殊ロータ形状の採用により省スペース化を実現。
■強制空冷式を採用し低発熱を実現。
■低発塵性・低揮発性に非常に優れた真空用クリーングリースを使用、給油は不要。
用途 ■吸着搬送、真空包装、脱泡・脱気、真空成形
仕様 材質　本体：アルミ合金　ローター：PPS系樹脂　主軸：ステンレス
型式 排気速度
(L/min)		 到達圧力
(Pa abs)		 吸気ポート 排気ポート サイズ(mm)
W×L×H		 シリンダ連数 シリンダ配管方式 電源 重量
(Kg)		 販売価格
RPV06A-40S100 30 350 G3/8 G1/4 125×284.6×166.5 2 直列接続 AC100V 7.2 219,000円
RPV06A-40T200 30 350 G3/8 G1/4 125×284.6×166.5 2 直列接続 AC200V 7.2 219,000円
RPV062A-60S100 60 3500 G1/2 G3/8 125×299.6×176 2 並列接続 AC100V 7.5 219,000円
RPV062A-60T200 60 3500 G1/2 G3/8 125×299.6×176 2 並列接続 AC200V 7.5 219,000円
RPV063A-90T200 90 3500 G1/2 G3/8 125×340.6×181 3 並列接続 AC200V 9.0 259,000円
ダイヤフラム型ドライ真空ポンプ
DAP-06D DA-30S DA-30D DA-41D DAT-50D DA-60D DA-121D
特長 ■豊富な実績を持ち低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。
■接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
■1段排気方式は2段排気方式より大きい排気速度。
■2段排気方式は1段排気方式より低い圧力（良い真空）。
■大気圧から作動が可能。
用途 ■吸着搬送、吸着固定、真空包装、脱泡・脱気、真空成形、自動機・包装機
仕様 サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
型式 排気速度
(L/min)
50/60Hz		 到達圧力
(Pa )		 吸・排気ポート 排気方式 サイズ(mm)
W×L×H		 電源 重量
(Kg)		 販売価格
DAP-6D 6/7 6.65×103 Rc1/8 2段 93×163×100.6 AC100V 1.9 20,480円
DAP-12S 12/14 24.0×103 Rc1/8 1段 93×163×100.6 AC100V 1.9 21,400円
DA-15D 12/15
6.65×103
 O.D.φ9×I.D.φ5 2段 135×203×181 AC100V 3.9 58,000円
DA-30S 24/30
26.6×103
 O.D.φ9×I.D.φ5 1段 135×203×182 AC100V 3.9 59,800円
DA-30D 30/36
6.7×103
 O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4) 2段 212×278×224.5 AC100V 11.0 79,200円
DA-60S 60/72
21.3×103
 O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4) 1段 212×278×224.5 AC100V 11.0 82,100円
DAT-50D 50/55
3.3×103
 O.D.φ12×I.D.φ8.5 (Rc 1/4) 2段 150×232×305 AC100V 11.0 125,000円
DAT-100S 100/110
13.3×103
 O.D.φ12×I.D.φ8.5 (Rc 1/4) 1段 150×232×305 AC100V 11.0 118,600円
DA-20D 20/24
5.33×103
 O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4) 2段 118×242×178 AC100V 7.2 74,400円
DA-40S 40/46
19.9×103
 O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4) 1段 128×242×178 AC100V 7.2 77,400円
DA-41D 40/46 3.3×103 O.D.φ12×I.D.φ8 (G 1/4) 2段 157×336.5×217 AC100V 10.3 99,600円
DA-81S 75/85 13.3×103 O.D.φ12×I.D.φ8 (G 1/4) 1段 181×336.5×217 AC100V 10.3 102,400円
DA-60D 60/72
3.32×103
 O.D.φ14×I.D.φ9 (G 3/8) 2段 156×358×238 AC100V 19.0 157,000円
DA-120S 120/144 13.3×103 O.D.φ14×I.D.φ9 (G 3/8) 1段 162×358×238 AC100V 19.0 160,000円
DA-121D 120/145
3.3×103
 O.D.φ16×I.D.φ12 (G 1/2) 2段 193.5×411×285 AC100V 26.0 204,000円
DA-241S 240/260
16.0×103
 O.D.φ16×I.D.φ12 (G 1/2) 1段 207×411×285 AC100V 26.0 207,000円
Dタイプ：2段式（低速低圧タイプ）　Sタイプ：1段式（高速高圧タイプ）
ダイヤフラム型ドライ真空ポンプ(高真空・ケミカルタイプ)
特長 ■到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。
■有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応したケミカルタイプ。
■大気圧から作動が可能。
用途 ■ロードロック室排気、吸着搬送、ハンドリング、レーザーガス循環・排気、真空乾燥装置
仕様 サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
型式 排気速度
(L/min)
50/60Hz		 到達圧力
(Pa )		 吸・排気ポート 排気方式 サイズ(mm)
W×L×H		 電源 重量
(Kg)		 販売価格
DAU-20 20/23 200 O.D.φ10×I.D.φ6 (Rc 1/8) 3段 161×327×217 AC100V 7.5 170,000円
直結型油回転真空ポンプ
特長 ■豊富な実績を持ち低価格を実現した油回転真空ポンプ。
■ベルト方式に比べ高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。
■1段排気方式は2段排気方式より安価。
■2段排気方式は1段排気方式より低い圧力（良い真空）。
■逆流防止機構の搭載モデルは停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。
■大気圧から作動が可能。
用途 ■理化学実験、分析機器、真空排気装置、半導体製造装置
仕様 サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
型式 排気速度
(L/min)
50/60Hz		 到達圧力
(Pa )		 吸・排気ポート 排気方式 サイズ(mm)
W×L×H		 電源 重量
(Kg)		 販売価格
G-5 5/6
4.0×103
 O.D.φ12×I.D.φ6 1段 80×199×156 AC100V 2.5 60,000円
G-5DA 5/6
6.7
 O.D.φ12×I.D.φ6 2段 130×203×159.5 AC100V 5.0 75,000円
G-10DA 10/12
1.3
 O.D.φ18×I.D.φ14 2段 130×228×165 AC100V 5.5 85,000円
G-25SA 20/24
9.3
 O.D.φ18×I.D.φ14 1段 156×284×199.5 AC100V 8.5 70,000円
G-20DA 20/24
1.3
 O.D.φ18×I.D.φ14 2段 156×295.5×199.5 AC100V 9.0 87,000円
G-50SA 50/60
9.3
 O.D.φ18×I.D.φ14 1段 156×341×199.5 AC100V 11.0 88,000円
G-50DA 50/60
1.3
 O.D.φ18×I.D.φ14 2段 156×341×199.5 AC100V 11.0 94,000円
G-101S 100/120
9.3
 O.D.φ27×I.D.φ20 1段 234×500.5×264 AC100V 22.3 125,000円
G-101D 100/120
0.67
 O.D.φ27×I.D.φ20 2段 234×500.5×264 AC100V 23.1 145,000円
Dタイプ：2段式（低速低圧タイプ）　Sタイプ：1段式（高速高圧タイプ）
直結型油回転真空ポンプ(ケミカルタイプ)
特長 ■接ガス部面に表面処理を施した油回転真空ポンプのケミカルタイプ。
■オイルフィルトレーションシステムに接続可能。
■逆流防止機構の搭載モデルは停電などの影響で停止した際に真空室への油の逆流を抑制。
■大気圧から作動が可能。
用途 ■理化学実験、分析機器、真空排気装置、半導体製造装置
仕様 サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
型式 排気速度
(L/min)
50/60Hz		 到達圧力
(Pa )		 吸気管径 排気方式 サイズ(mm)
W×L×H		 電源 重量
(Kg)		 販売価格
GCD-051X 50/60 0.67 KF-25 2段 165.5×419×222.7 AC100V 14.1 230,000円
GCD-136X 135/162
0.67
 KF-25 2段 170×493×241.1 AC100V 25.4 280,000円
GCD-201X 200/240
0.67
 KF-25 2段 170×509.5×241.1 AC100V 26.6 351,000円
油回転真空ポンプ用オイルミストトラップ
特長 ■油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙を捕集し自動的に真空ポンプ内へ回収します。
■油の飛散により雰囲気を汚すことがありますが、このトラップを取付けることにより低減されます。
用途 ■油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙の捕集。
型式 適合機種 重量(g) 販売価格
OMT-050A G-5DA、G-10DA、G-25SA、G-20DA、G-50SA、G-50DA、GLD-051、GLS-051、GLD-040、GHD-031 105 12,600円
OMT-100A G-101D、G-101S 430 17,200円
OMT-200A GLD-136A、GLD-136C、GLD-201A、GLD-201B 500 30,400円
油回転真空ポンプ用オイル
特長 ■油回転真空ポンプの性能を最大限に引き出す専用オイルです。
■寒冷時にも始動性が良いように粘度を低くしています。
■ポンプ油の交換はできるだけ頻繁に行ってください。
用途 ■潤滑、冷却、シールを目的とした油回転真空ポンプ専用オイル。
型式 適合機種 内容 重量(Kg) 販売価格
SMR-100-1L G・GLS・GLD 1L（500ml×2缶） 1.1 4,000円
SMR-100-4L G・GLS・GLD 4L×1缶 3.88 6,000円
SMR-100-18L G・GLS・GLD 18L×1缶 17.6 18,000円